一、薄膜電路工藝
采用通過磁控濺射,圖形化光刻,干法濕法蝕刻,電鍍加厚工藝,在陶瓷基板上制作出超細(xì)線條電路圖形。
在薄膜工藝中,基于薄膜電路工藝,通過磁控濺射實(shí)現(xiàn)陶瓷表面金屬化,通過電鍍實(shí)現(xiàn)銅層和金成的厚度大于10微米以上。即 DPC( Direct Plate
Copper-直接鍍銅基板)。
二、厚膜電路工藝
1、HTCC(High-Temperature Co-fired Ceramic)
2、LTCC(Low-Temperature Co-fired Ceramic)
3、DBC(Direct Bonded Copper)
陶瓷基板制作工藝中的相關(guān)技術(shù):
1、鉆孔:利用機(jī)械鉆孔產(chǎn)生金屬層間的連通管道。
2、鍍通孔:連接層間的銅線路鉆孔完成后,層間的電路并未導(dǎo)通,因此必須在孔壁上形成一層導(dǎo)通層,借以連通線路,這個(gè)過程一般業(yè)界稱謂“PTH制程”,主要的工作程序包含了去膠渣、化學(xué)銅和電鍍銅三個(gè)程序。
3、干膜壓合:制作感光性蝕刻的阻抗層。
4、內(nèi)層線路影像轉(zhuǎn)移 :利用曝光將底片的影像轉(zhuǎn)移至板面。
5、
外層線路曝光:經(jīng)過感光膜的貼附后,電路板曾經(jīng)過類似內(nèi)層板的制作程序,再次的曝光、顯影。這次感光膜的主要功能是為了定義出需要電鍍與不需要電鍍的區(qū)域,而我們所覆蓋的區(qū)域是不需要電鍍的區(qū)域。
6、磁控濺射:利用氣體輝光放電過程中產(chǎn)生的正離子與靶材料的表面原子之間的能量和動量交換,把物質(zhì)從源材料移向襯底,實(shí)現(xiàn)薄膜的淀積。
7、蝕刻——外部線路的形成:
將材料使用化學(xué)反應(yīng)或者物理撞擊作用而移除的技術(shù)。蝕刻的功能性體現(xiàn)在針對特定圖形,選擇性地移除。
線路電鍍完成后,電路板將送入剝膜、蝕刻、剝錫線,主要的工作就是將電鍍阻劑完全剝除,將要蝕刻的銅曝露在蝕刻液內(nèi)。由于線路區(qū)的頂部已被錫保護(hù),所以采用堿性的蝕刻液來蝕銅,但因線路已被錫所保護(hù),線路區(qū)的線路就能保留下來,如此整體線路板的表面線路就呈現(xiàn)出來。
8、防焊漆涂布:
陶瓷電路板的目的就是為了承載電子零件,達(dá)成連接的目的。因此電路板線路完成后,必須將電子零件組裝的區(qū)域定義出來,而將非組裝區(qū)用高分子材料做適當(dāng)?shù)谋Wo(hù)。由于電子零件的組裝連結(jié)都用焊錫,因此這種局部保護(hù)電路板的高分子材料被稱為“防焊漆”。目前多數(shù)的感光型防焊漆是使用濕式的油墨涂布形式。